Tetraethylorthosilikat – von Aerogel-Siliziumquellen zu elektronischen Spezialgasmaterialien

Tetraethylorthosilikat - von Aerogel-Siliziumquellen bis hin zu elektronischen Spezialgasmaterialien

Ethylsilikat ist auch bekannt als Tetraethylsilikat Und Tetraethoxysilan Farblose, transparente Flüssigkeit mit charakteristischem Geruch. Sie ist in Gegenwart von wasserfreiem Wasser stabil, zersetzt sich in Wasser zu Ethanol und Kieselsäure, trübt sich in feuchter Luft ein und löst sich in organischen Lösungsmitteln wie Alkohol und Ether. Sie ist giftig und stark reizend für Augen und Atemwege. Sie wird durch Destillation nach Einwirkung von Siliciumtetrachlorid und wasserfreiem Ethanol gewonnen.

Es dient zur Herstellung hitze- und chemikalienbeständiger Beschichtungen sowie organischer Siliziumlösungsmittel. Darüber hinaus findet es Anwendung in der organischen Synthese, als Grundstoff für die Herstellung von Hochleistungskristallen, als optisches Glasbehandlungsmittel, als Bindemittel und als Isoliermaterial in der Elektronikindustrie.

Ethylorthosilikat Tetraethoxysilan (TEOS), auch bekannt als Tetraethoxysilan, chemische Formel Si(OC2H5)4, ist eine häufig verwendete Siliciumquelle für die Herstellung von SiO2-Aerogelen, die hauptsächlich als elektrische Isoliermaterialien, Beschichtungen und optische Glasbehandlungsmittel eingesetzt werden; außerdem wird es in der organischen Synthese zur Herstellung von chemikalienbeständigen und hitzebeständigen Beschichtungen, Silikonlösungsmitteln und Präzisionsgießklebstoffen verwendet; es dient als hitzebeständige und chemikalienbeständige Beschichtung, Zwischenprodukt in der organischen Synthese usw.

Zusätzlich, TEOS in elektronischer Qualität wird häufig im chemischen Gasphasenabscheidungsprozess zur Bildung von Siliziumdioxidschichten eingesetzt, um das Eindringen von Verunreinigungen und Fremdstoffen in die Halbleiterelemente zu verhindern. Gleichzeitig können leitfähige oder isolierende Schichten erzeugt, Antireflexionsschichten zur Verbesserung der Lichtabsorption hergestellt und Ätzprozesse vorübergehend verhindert werden.